Serbuk mikro silikon karbida

Serbuk mikro silikon karbida diperbuat daripada silikon karbida dengan menghancurkan peralatan. Walau bagaimanapun, dalam proses peleburan dan penghancuran silikon karbida, tidak dapat dielakkan bahawa pelbagai kekotoran akan bercampur. Kekotoran ini akan memberi impak yang besar terhadap kualiti produk yang diproses dan prestasi peranti semikonduktor yang dihasilkan semasa penggunaan silikon. serbuk karbida, meningkatkan kadar produk yang rosak dan mengurangkan kualiti pemprosesan permukaan produk yang diproses. Oleh itu, masalah membuang kekotoran dalam serbuk silikon karbida mesti diselesaikan.

Kekotoran serbuk silikon karbida terutamanya termasuk karbon, ferik oksida, aluminium oksida, kalsium oksida, magnesium oksida dan silikon dioksida. Apabila bahan-bahan ini digunakan untuk tujuan yang berbeza dalam serbuk silikon karbida, ia mempunyai kesan yang berbeza, antaranya Fe2O3 adalah yang utama. Untuk menghilangkan kekotoran dalam serbuk silikon karbida, asid boleh ditambah untuk menghilangkan kekotoran dalam proses pengeluaran. Kaedah ini mempunyai kos rendah dan kadar penyingkiran kekotoran yang tinggi, yang disukai oleh pengeluar serbuk silikon karbida.